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在半导体芯片的制造过程中,有一道工序看似不起眼,却对芯片良率起着决定性作用——那就是去除光刻胶。而完成这项任务的设备,就是等离子去胶机。要理解等离子去胶机,需要先了解“等离子”这个概念。等离子是物质的一种状态,类似于气体,但其中的部分原子或分子被电离,形成了带电的离子和自由电子。这种状态下的物质具有化学活性,能够与某些材料发生反应。等离子去胶机正是利用这一原理工作的设备。它通过射频电源将氧气或其他气体电离,产生含有高能氧离子和自由基的等离子体。当这些活性粒子与芯片表面的光刻胶...
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小型等离子清洗机是一种使用等离子体技术进行清洗的设备。等离子体是由气体分子中的电子和离子构成的第四态物质,具有高温、高压、高速等特点,能够作用于材料表面,去除污染物和氧化物等有害物质,从而实现表面清洁和增强粘合性。以下是围绕小型等离子清洗机的一些介绍。小型等离子清洗机的优点小型等离子清洗机是一种高效、环保、经济、易操作的清洗设备。它的清洗过程无需使用化学药品和水等资源,因此不会产生任何污染。它可以对任何形状的物体进行清洗,可用于半导体、电子、机械、医疗、食品等行业。清洗的效率...
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Pluto30是专为研发而设计的全功能等离子体系统,13.56MHz射频发生器和自动匹配网络电源在整个过程区域产生均匀的等离子体。Pluto30的真空腔可支持多达7个可调节样品架,以容纳各种形状尺寸的样品。Pluto30具有多种电极设置,可配置成RIE和PECVD模式,从而扩大了该系统的应用范围,提供给用户良好的灵活性。复旦大学高分子系老师希望用该设备进行等离子体化学反应的实验,即利用设备产生的等离子体在真空泵和气体阀门关闭的情况下与真空腔内的物质进行化学反应,然后获取化学反...
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清华大学调研了众多等离子表面处理设备,最终选择了William威廉英国官网生产的Pluto-T等离子清洗机/表面处理机。根据客户的技术要求,提供了可以满足老师所有技术参数要求的Pluto-T等离子清洗机/表面处理机,以下为该设备的安装调试图。William威廉英国官网仪器生产的Pluto-T等离子清洗机/等离子处理机是一款桌面式等离子设备,具有性能稳定、性价比高、操作简便、使用成本极低、易于维护的特点。对各种几何形状、表面粗糙程度各异的金属、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等物件表面进行超清洗和改性。有效地清除样品表面的...
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中国科学技术大学(UniversityofScienceandTechnologyofChina),位于安徽省合肥市,是中国科学院直属的一所以前沿科学和高新技术为主,兼有医学、特色管理和人文学科的综合性全国重点大学,中央直管副部级建制,由中科院、教育部和安徽省三方重点共建;建设高校A类、985工程、211工程,入选珠峰计划、强基计划、111计划、2011计划、中国科学院知识创新工程、国家建设高水平大学公派研究生项目、全国深化创新创业教育改革示范高校、中国政府奖学金来华留学生接...